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在透明导电膜中,氧化锌(ZnO)薄膜具有显着的c 轴优先成长取向及透明性,而且具有较低的电阻率及良好的光穿透度, 因此被广泛地应用于声电及声光元件。此外,氧化锌薄膜的表面织构化或坑洞化的表面型态,对于光学元件 (如:太阳能电池)具有强化陷光(enhanced light trapping)的应用。一般氧化锌薄膜的电阻偏高(约为1-100 Ω-cm), 其导电特性主要受制于氧空缺、锌间隙原子与掺杂的金属离子。氧化锌薄膜的性质深受其制备参数所影响。 以氧化锌掺钛(Ti -doped ZnO)薄膜是于较低的真空压力中利用阴极电浆电弧系统来沈积。探讨靶材功率、 工作气氛和薄膜厚度对于氧化锌掺钛薄膜的结构及光学性质之影响是本研究的重点之一。 实验氧化锌掺钛薄膜來研究其微结构、电及光学性质。
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