标题:6JA思思热99re热在线视频使用简单Rz参数值的范围0 .8-0.5微米

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2014-11-10 1:56:31 将本页加入收藏

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6JA思思热99re热在线视频使用简单Rz参数值的范围0 .8-0.5微米

    干涉思思热99re热在线视频是利用光波干涉原理设计的一种思思热99re热在线视频。按其
工作原理可分为双光束干涉思思热99re热在线视频和多光束干涉思思热99re热在线视频,应
用较广的是双光束干涉思思热99re热在线视频,例如6J型和6JA型干涉显微
镜。它的特点是使用简单,属轮廓瞬即转换、非接触式思思热99re热在线视频。

    干涉思思热99re热在线视频在企业的计量实验室用于测量微观不平度很
小的表面。特别对极光的表面,用轮廓仪测量也适用时,可

用干涉思思热99re热在线视频。用干涉思思热99re热在线视频测量Rz参数值的范围一般在
0 .8~0.5μm。

    双光束干涉思思热99re热在线视频的原理由光源发出的光线经聚光镜
投射到孔径光阑4的平面上,照明位于物镜前视场光阑。

通过照明物镜的光线投射到分光镜上被分成两部分:一部分反射,
另一部分透射。从分光镜反射的光线经滤光片、物镜射向工作表面,

然后再反射回来射向目镜。在目镜分划板上两束光产生明暗交替的
干涉条纹。若被测表面存在微观不平度,则会出现一组弯曲的
干涉条纹,其相对弯曲度随微观不平度的大小而定。反射镜
处于图中位置时,干涉条纹即可通过照相物镜,











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